Henry Edin St. Clair Deville a Friedrich Wöhler poprvé hlásili syntézu nitridu křemíku v roce 1857. V metodě syntézy, kterou uvedli, byl pohřben kelímek obsahující křemík naplněný uhlíkem a zahříván, aby se snížila infiltrace kyslíku. Ukázali produkt, který nazvali křemíkovým nitridem, ale nedokázali zjistit jeho chemické složení. V roce 1879, Paul Schuetzenberger smíchaný křemík s podšívkou (pasta, kterou lze použít jako kelírový podšívka, získaná smícháním uhlí, uhlí nebo koksu s hlínou) a zahřívá jej ve vysoké peci a ohlásila jej jako složení se složením SI3N4. V roce 1910 vyhřívali Ludwig Weiss a Theodor Engelhardt křemík v čistém dusíku, aby získali SI3N4. V roce 1925, Friederich a Sittig použili karbotermální redukci na tepelný křemíkový oxid a uhlík na 1250-1300 stupeň v atmosféře dusíku pro syntetizaci nitridu křemíku.
Nitrid křemíku nebyl užíván vážně a studován po celá desetiletí, dokud se neobjevily komerční aplikace nitridu křemíku. Od roku 1948 do roku 1952 zaregistrovala společnost Acheson's Diamond Company poblíž Niagara Falls v New Yorku několik patentů na výrobu a použití nitridu křemíku. V roce 1958 byl k výrobě trubic termočlánků, raketových trysek a kelímků pro tání kovů použitý nitrid křemíku produkovaný Union Carbide. Výzkum nitridu křemíku ve Velké Británii začal v roce 1953 za účelem výroby vysokoteplotních částí pro plynové turbíny. To vedlo k vývoji nitridu vázaného křemíku a nitridu lisovaného křemíku. V roce 1971 podepsala Agentura pro výzkum agentura pro pokročilé výzkumy pod ministerstvem obrany USA smlouvu s Fordem a Westinghouse ve výši 17 milionů dolarů na vývoj dvou keramických plynových turbín.
Ačkoli vlastnosti nitridu křemíku jsou již dlouho známy, nitrid křemíku (asi 2 x 5 µm), který existuje přirozeně na Zemi, nebyl objeven až v 90. letech v meteorittech. Tento typ křemíkové nitridové rudy nalezené v přírodě se jmenuje „Nierite“ na počest Alfreda Otta Carla Niera, průkopníka výzkumu hmotnostní spektrometrie. Existuje však důkaz, že tento typ křemíkové nitridové rudy mohl být nalezen u meteoritů v ázerbájdžánu, bývalém Sovětském svazu. Meteority obsahující minerály nitridu křemíku byly také nalezeny v provincii Guizhou v Číně. Kromě existujících meteoritů na Zemi je nitrid křemíku také distribuován kosmickým prachem ve vesmíru.
